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硅片抛 光机湿度传感器加湿效果

日期:2013年8月26日 22:28

硅片抛 光机湿度传感器加湿效果

为保证 硅片抛光机加湿的效果,变原来 的注水式加湿为雾化式加湿。现有国 产中小型抛光机的加湿方式采用的是注水式,由于抛 光机的加湿量不大,此方式 很容易造成加湿的不均匀性,进而影响抛光的质量。采用雾 化的方式注水基本上消除加湿的不均匀性,可以大 大改善抛光的效果。水的雾 化采用高频振动的方式实现,此种雾 化装置可以很容易在市场上购买到。


开启硅片抛光机后,将工件 由少倒多放入抛光桶,工件的 多少和重量和工件的体型有及到的关系,所以工 件慢慢放入到增加,倒工件旋转减慢,但是不可以工件不动,当工件不动旋转时,抛光出 来的产品液将不均匀,抛光时 间也会随之不必要的加长。


我们选 用硅片抛光机的湿度传感器,此传感 器集传感与变送于一体,体积和重量都很小,价格适中,而且比较容易安装。传感器 输出的标准电压信号的另一通道,单片机 采样后转换为数字信号,通过与 设定的湿度值比较,进而控 制加湿电磁阀的开合。控制加 湿量的电磁阀有大、中、小3个,此方法 的应用避免了系统的复杂性,又保证 了系统的可靠性和控制的精度。

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